Wafer Cassette Loader Port Module
주요 기능 개요
200mm Cassette (PP Open Cassette) 및 300mm Cassette (FOUP, FOSB) 대응 가능
Cassette Load/Unload Stroke 변경 가능
고객사 환경에 맞게 다중 port 설치 가능
안전을 위한 Light Curtain 장착 가능
모델명 : LPM 100
Wafer Cassette Loader Port Module
주요 기능 개요
200mm Cassette (PP Open Cassette) 및 300mm Cassette (FOUP, FOSB) 대응 가능
Cassette Load/Unload Stroke 변경 가능
고객사 환경에 맞게 다중 port 설치 가능
안전을 위한 Light Curtain 장착 가능
제품 규격 개요
| Model Name | LPM 100 | LPM 100-180 |
| Cassette Type | 300mm Cassette (FOUP, FOSB) Option: 200mm Cassette | 300mm Cassette (FOUP, FOSB) Option: 200mm Cassette |
| Dimension | 550(W) x 487(D) x 1,360(H) mm | 550(W) x 487(D) x 1,360(H) mm |
| Cassette Port Stroke | 100mm | 100mm |
| Cassette Port Rotation | Nothing | 180º |
| Opener | Cassette Mapping 가능, Wafer Out 감지 가능 | |
| Control Method | Ethernet 접속 / DLL Library 제공 / LPM 다중 접속 가능 | |
| Option | RFID Reader / Light Curtain | |
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