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모델명 : KS-300

Automatic Wafer Sorting Machine


주요 기능 개요

  8, 12inch  wafer 대응 가능

  200mm Cassette (PP Open Cassette) 및 300mm Cassette (FOUP, FOSB) 대응 가능

  Wafer Transfer: Dual ARM

  Pre-Aligner 장착: Flat Zone & Notch 검출 가능

  Wafer ID Reader: COGNEX OCR Module 장착

  고객사 환경에 맞게 LPM을 2port 또는 4port 장착 가능

  안전을 위한 Light Curtain 및 CCTV 장착 가능

제품 규격 개요


Model Name
KS-300
KS-200
Wafer Size
8 & 12inch
8inch Only (Option: 6inch)
Dimension
1,700(W) x 1,200(D) x 2,000(H) mm
853(W) x 793(D) x 368(H) mm
Load Port Module Interface
200mm Cassette (PP Open Cassette)

300mm Cassette (FOUP, FOSB)

200mm Cassette (PP Open Cassette)
Wafer Transfer
Dual Arm
Single Arm
Loader Port Module
Variable LPM Port (2~4port)
Fixed 2port
Option
FFU / Wafer ID Reader
현미경 종류에 따라 Modify 가능

Light Curtain / CCTV

(주)쌤토스


주소 :경기도 성남시 중원구 사기막골로 99, 

센트럴비즈타워2차 A동 613호 (우)13201

TEL : 031)339-5889 ｜ FAX : 031-339-5883

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