(주)쌤토스 - 비젼 장비

Automatic Wafer Inspection Machine

주요 기능 개요

8, 12inch wafer 대응 가능 (Option: 6inch wafer)

고속 스테이지 기술 및 Vision 시스템 장착 / 보정을 위한 Machine Calibration 기능 포함

조작이 용이하며, 지정된 PAD 선택 시 자동으로 이동

작업 완료한 Data에 대해 추가 분석 가능하며, PMI Fail PAD에 대해 추가 테스트 가능 (Retest)

패턴이 없는 웨이퍼에 대해 PMI 기능 구현 가능

싱글 또는 듀얼 로더 및 Wafer Sorting 등의 고객 맞춤형 기능 장착 가능

다양한 배율 구성 (1X, 2X, 5X, 10X, 20X) 및 데이터 백업 용이

Model Name	WI-300
Wafer Size	8 & 12inch
Dimension	1,150(W) x 1,060(D) x 1,750(H) mm
Measurement Time (12inch/10,000Pin)	≤15 min (Used Mid) (12inch/10,000Pin) ***There may be a difference in PMI time depending on the PAD location.
Precision	Pixel Size: 1um, Resolution: ≤1um
Whole wafer color image capture	Standard (Color)
Turret Assembly	Used Linear Turret (2/5/10/20X), (option: 1X)