Automatic Wafer Probing Machine
주요 기능 개요
자동화에 적합한 탑 로더 방식채택 (AGV/OHT)
크고 무거운 프로브 카드와 호환 가능한 고강성 구조의 프로브 카드 체인저 장착
프로브 카드와 웨이퍼 간의 균일한 Contact을 위한 오토 틸트 기능 장착가능
신뢰할 수 있는 온도 제어 및 우수한 방열
강력한 프로빙을 위한 견고한 Z축 구조 및 시스템 구비
모든 유형의 테스터와 호환 가능
기본 교육만으로 장비 운용이 가능한 프로그램 구성
“Logic, LDI, Memory, DRAM, HBM 등의 제품군에 대응 가능“
